EC -tyhjiön syöttö läpi - tekninen yleiskatsaus

Engineering Ceramics Inc. (EC © ™) Raportti:

EYTyhjiö- Tekninen yhteenveto

EC on erikoistunut korkean suorituskyvyn tyhjiöjen läpimurtoihin, kuten:

✔ Keraaminen eriste erittäin suuren jännitteen eristykselle (al₂o₃/aln)

✔ tyhjiöjärjestelmän tekniikka (vuotoprosentti <10⁻⁹ mbar · l/s)

✔ Turbo -molekyylipumppujen/ionipumppujen ilmatiiviinen tiivistys (UHV/XHV -yhteensopiva)

✔ Mukautetut kokoonpanot puolijohde-, ilmailu- ja tutkimussovelluksille

Taulukko 1: Luokittelu, joka perustuu toimintaperiaatteeseen

tyyppiset	Operaatioteoria	Lopullinen tyhjiö (PA)	Pääominaisuudet	Pääkäyttö
Kiertopumppu	Siirtyminen pyörivällä pakettiautolla	1e-1 ~ 1e2	Öljytiivistetyyppi, vaaditaan huolto	Etu-/takapumppu
Kuiva vierityspumppu	Kaasun puristus kiertoradalla	1e-2 ~ 1e1	Öljytön, matala värähtely	Laboratoriolaite
Juurten puhallus	Kaasunkuljetus laskurin pyörivien lohkojen avulla	1e-1 ~ 1e3	Korkea läpäisy, usein monitasoinen	Teollisuus tyhjiöjärjestelmä
Öljyn diffuusiopumppu	Siirrä höyrysuihkulla	1E-7 ~ 1E-4	Ei liikkuvia osia, tarvittavia kylmiä ansoja	E-säteilyn laskeuma
Turbo -molekyylipumppu	Nopea roottori (> 60 kpm) törmää molekyyleillä	1e-9 ~ 1e-6	Siisteys, värähtely herkkä	UHV -tiedekone
Kryogeeninen pumppu	Kaasukondensaatio <20k pinnoilla	<1E-10	Suurin tyhjiö ja säännöllinen uudistaminen vaaditaan	Avaruusympäristön simulointi

Taulukko 2: Luokittelu tyhjiötasolla

Tyhjiöalue	Paine (PA)	Optimaalinen pumpputyyppi	Tekniset näkökohdat
Karkea tyhjiö	1E5 ~ 1E2	Pyörivä siipi, kalvo	Korkeapainetuki kaasulaivalla
Matala tyhjiö	1e2 ~ 1e-1	Juuret + pyörivät siipi	Nopeus vs. tehon tehokkuus
Korkea tyhjiö	1e-1 ~ 1e-7	Diffuusio,	Takavirran ehkäisy
Erittäin korkea tyhjiö (UHV)	1e-7 ~ 1e-10	Ioni, Cryopump	Materiaalin valinta on tärkeä
Erittäin korkea tyhjiö	<1E-10	Hybridi-ionikryosysteemi	Kvanttitaso

Tyhjiöpumpun valintaopas

Avainvalintakriteerit

1. Lopullinen tyhjiötaso

Vaaditun tyhjiötason on täytettävä prosessin eritelmät. esimerkiksi:

- Puolijohteiden valmistuksessa vaaditaan yleensä tyhjiötasoja alle 10⁻⁶ PA.

- Teollisuusprosesseissa se voi toimia tehokkaasti alueella 10–10² PA      

2. pumppausnopeus

Mitattu litrana sekunnissa (l/s) tai kuutiometriä tunnissa (m³/h)   

Valitse kammion kapasiteetin ja kaasukuormituksen oikea koko   

Korkean suorituskyvyn sovellukset (esim. Vacuum-uunit) voivat vaatia 1000+ m³/h

3. Kaasu- ja kemiallinen yhteensopivuus

- Vakiokäyttö: Vakiomateriaalit (ruostumaton teräs, alumiini)

- Syövyttävä ympäristö: Erityisiä materiaaleja vaaditaan esimerkiksi:  

- PTFE -pinnoitusosat (happoresistenttejä varten)  

- Hastelloy tai nikkeli -seos (voimakkaiden kemikaalien, kuten kloorin, varten)

4. Energiatehokkuus ja ylläpito

- Öljytiivistepumppu:  

- Alhaiset alkuperäiset kustannukset    

- Vaaditaan säännöllisiä öljynmuutoksia (2 000 - 4 000 tuntia)

- Öljyn saastumisen riski herkkien prosessien avulla  

- Kuiva (öljytön) pumppu:  

- Suuri alkuinvestointi    

- Huoltoa ei vaadita (ei öljynvaihtoa)  

- Suositellaan puhtaita prosesseja (esim. Lääkkeet, ruoka)

Tämän tekstin päätermologia on seuraavat:

1. Tyhjiötiivisteet - tyhjiötiiviste, sormen tyhjiötiivistekniikka ja tyhjiön syöttö ovat tehokkaita (tiivistysyhteys).

2. läpikäytävän osan (かんつうぶ)-läpinäkyvä osa viittaa yleensä osiin, jotka kulkevat seinien tai osioiden läpi, ja sitä käytetään joskus kuvaamaan tyhjiöä samanlaisia rakenteita.

3. Furanzi - laippa, jota käytetään yleisesti tyhjiöjärjestelmän yhteyskomponenteissa, tyhjiöön liittyvät laitteistot voivat sisältää tämän termin.

4. Tyhjiöliitin - tyhjiöliitin, ulkopintayhteys ja kyky käyttää syöttöä.

5. Eristyksen tunkeutuminen - kyky suorittaa tyhjiön syöttöaikana.

Nämä sanat eivät ole täysin vastaavia "tyhjiöjen läpimurto", mutta niitä voidaan käyttää likiarvoina tai niihin liittyvinä termeinä tietyissä olosuhteissa. Mikä käytettävä kieli riippuu teknisistä yksityiskohdista ja teollisuuden normeista, joten on suositeltavaa, että viitat asiaankuuluvaan asiantuntijakirjallisuuteen tai neuvot asiantuntijaa tarkkuuden varmistamiseksi.

Lausunto: Artikkeli/uutiset/video on Internetistä tai AI -ohjelmiston tekemä. Verkkosivumme uusintapainos jakamista varten. Uusintapainettu artikkelin/uutisten/videoiden tekijänoikeus kuuluu alkuperäiselle kirjoittajalle tai alkuperäiselle viralliselle tilille. Jos siihen liittyy rikkomuksia, ilmoita meille ajoissa, ja tarkistamme ja poistamme sen.